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日本ULVAC CFB-1600K抗沖擊分子泵技術(shù)參數(shù)

發(fā)布時(shí)間: 2015-12-29  點(diǎn)擊次數(shù): 1275次

日本ULVAC CFB-1600K抗沖擊分子泵 一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介

        CFB-K系列抗沖擊分子泵轉(zhuǎn)子采用國(guó)家新型加工而成,提高了葉齒強(qiáng)度,分子泵高速旋轉(zhuǎn)時(shí)可以抵抗瞬時(shí)5000Pa的大氣沖擊和粉塵,廣泛應(yīng)用于光伏、照明、宇航、半導(dǎo)體、能源、軍工、激光、家電、新材料、汽車(chē)等真空技術(shù)的各個(gè)領(lǐng)域。

 

 日本ULVAC CFB-1600K抗沖擊分子泵 二、產(chǎn)品特點(diǎn)

        具有高壓強(qiáng)、抽速大的特點(diǎn),對(duì)被抽氣體無(wú)選擇性、無(wú)記憶效應(yīng),由于對(duì)分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得高真空和超高真空。

 

 日本ULVAC CFB-1600K抗沖擊分子泵 三、主要性能指標(biāo)

 

型號(hào)

CFB-1600K

訂貨號(hào)

3183

3184

進(jìn)氣口法蘭

LF250

CF250

排氣口法蘭

KF50

抽氣速率

L/s

1600

壓縮比N2/H2

1×109/1×104

極限壓強(qiáng)

Pa

5×10-7

8×10-8   

電機(jī)轉(zhuǎn)速

rpm

21000

啟動(dòng)時(shí)間

min

<6

軸承

陶瓷軸承

前極泵

L/s

15

振動(dòng)值

μm

≤0.15

冷卻水溫度

≤25

泵體烘烤溫度

<120

冷卻水流量

L/min

1

泵口耐壓

Pa

7000

加熱器輸入電壓

V

AC220

安裝方向

垂直±5°

重量

kg

~35

 

四、特性曲線(xiàn)及安裝尺寸

 

CFB系列抗沖擊分子泵對(duì)大氣的抽速曲線(xiàn) 

CFB系列抗沖擊分子泵對(duì)氮?dú)饧皻錃鈮嚎s比曲線(xiàn)

CFB系列抗沖擊分子泵安裝尺寸表

型號(hào)規(guī)格

CFB-1600K

進(jìn)氣口法蘭

LF250

CF250

D1

Ф290

Ф305

D2

Ф296

Ф296

D3

□183.8

□183.8

L1

161

161

L2

166

166

H1

394

394

H2

110

110

H3

142.5

142.5

H4

104

104

聯(lián)


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